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工藝過(guò)程裝備

JCP型高真空多靶磁控濺射系統(tǒng)
小型磁控濺射系統(tǒng)通過(guò)共焦超高真空陰極，制備各類金屬及其合金、非金屬單層膜、多層膜和摻雜膜系，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、材料等相關(guān)工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。
模塊設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊易于擴(kuò)展；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，運(yùn)行數(shù)據(jù)在線顯示；自動(dòng)化高，一鍵啟動(dòng)；靈活度高，工藝配方自由設(shè)置；功能性強(qiáng)，支持多種薄膜制備；穩(wěn)定性好，成膜高效質(zhì)量可靠。

性能指標(biāo)

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