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工藝過程裝備

多工位排氣臺
在一定溫度下，對傳感器芯片進行加熱除氣處理.
極限真空度(冷態):≤2x10??Pa
工位數:90工位
加熱溫度:200℃
溫度均勻性:±5℃℃
溫度過沖≤3℃℃

性能指標

工位數:90工位
加熱溫度:200℃
溫度均勻性:±5℃℃
溫度過沖≤3℃℃

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