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工藝過程裝備

FJ 系列多抽口分子泵機組主要配置--FJ2000G分子泵機組
◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。可配置成無油真空系統。
◆ 抽速穩定,可用于多種工況。
◆ 可單獨移動,方便操作。
◆ 具有手動、自動功能。

性能指標

型號

機組穩定抽速(L/S

空載極限真空(Pa

分子泵型號

前級泵

機組尺寸mm,不含羅茨泵)

FJ2000

2000

9×10-5 

FF-250/2000

干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

1000×600×1500


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