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真空核心零部件

APC自動控壓插板閥
APC（Automatic Pressure Control，APC）自動壓力調節插板閥應用于真空腔室的壓力調節或真空隔斷，控制精度高，響應速度快，震動噪音小。
閥板作為調節元件，通過不同位置改變閥門通經流導大小，控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根據腔體容積、流量等條件自學習，自動建立壓力控制參數。用戶上位機輸入設定工藝真空壓力，APC壓力控制器通過與壓力傳感器實時反饋腔體壓力值比對，自動計算所需閥板位置，快速精準到達預定位置并適當微調，以獲得設定的真空壓力值。

性能指標

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配置清單

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