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科學儀器

Amsp-Ⅰ磁控濺射儀
Amsp-Ⅰ磁控濺射儀應用于高分辨率掃描電鏡、電子探針、能譜儀等樣品制備，高校材料、物理教學等。
主要特點：模塊設計，易于安裝體積小巧；自動化高，一鍵啟動運行；功能性強，支持多種靶材鍍膜；穩定性好，高效成膜質量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
樣品臺：帶1個Φ50mm樣品臺和7個Φ13mm  掃描電鏡樣品杯，電動旋轉。

性能指標

外形尺寸圖

外型尺寸：430mm(L)×355mm(W)×390mm(H)

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